三維尺寸測量和形位公差的高精度測量的工具是三維影像測量儀。用於測量三維幾何尺寸和形位公差的高精度測量儀器。它克服瞭傳統投影儀和二維影像測量的不足，是集光學、機械、電子、計算機圖像處理技術於一體的高精度、高效率、高可靠性的測量儀器。

根據操作模式分爲三種類型：手動，電機驅動和CNC。
1、手動三維影像儀

操作員用手握住主軸使其沿軸線移動。測量時
，要注意探頭與工件之間的測量壓力，以及由探頭加速引起的軸彎曲引起的某些測量數據的誤差。
2、電機驅動式三維影像儀

電動三維測量儀器通常由操縱杆控制。它具有測量精度高，操作簡便，手動操作，可教學測量等優點。
3、CNC式三維影像儀

除瞭(le)電機驅動功能外，CNC型三維測量儀還可以根據計算機的預設程序自動進行測量。即使是一些制造商生産的三維測量儀器也提供工件的自動裝配和拆卸。除尺寸測量（點對點測量）外，CNC型三維測量儀還可用於(yú)輪廓測量（點對點測量和掃描測量）。

三維影像測量儀故障時，

故障現象
1、無法打開3D圖像測量儀器軟件;
2、3D圖像測量儀無法找到原點或不能移動;
3、傳輸，面光源不亮;
4、主機和光栅尺以及數據轉換盒接觸不良，導緻無數據顯示;
5、藍屏。
造成故障的原因
1、加密狗或圖像測量儀器軟件操作系統崩潰導緻3D圖像測量儀器損壞;
2、電源闆損壞。
3、光栅尺或數據轉換盒損壞;
4、三維影像測量儀的操作軟件文件丢失或CCD視頻線接觸不良。

三維影像測(cè)量儀适用於(yú)以坐标測(cè)量爲目的一切應用領域，廣泛應用於(yú)機械、電子、儀表、五金、塑膠，模具，螺絲，金屬配件、橡膠、PCB闆、彈簧、塑料、航空航天，汽車等行業中，可以對工件的尺寸、形狀和形位公差進行精密檢測(cè)，從而完成零件檢測(cè)、外形測(cè)量、過程控制等任務。

三維影像測(cè)量儀是三維尺寸測(cè)量比較(jiào)好的儀器