要瞭(le)解手動測量儀的測量精度，就必須瞭(le)解視頻測量儀的誤差來源。影像測量儀上的測量是單軸或二維平面坐标的測量。測量時，先對焦，再對齊，讀取（計數），然後計算處理。讀數來自标尺，即光栅系統，聚焦依賴於(yú)光學成像系統，還有直接影響測量效果和精度的照明光源，因爲，對於(yú)成像法測量的儀器，如果被測物體不能得到有效、正確的照明
，則測量結果明顯偏離其真實尺寸
。除上述因素外，環境條件也是制約測量精度的因素，不容忽視。基於(yú)以上分析，可以總結出以下幾個方面的誤差來源。

1）光栅尺計數誤差；

2）工作台移動(dòng)時直線度和角擺(bǎi)造成的誤差；

3）工作台兩個(gè)測(cè)量軸的垂直度誤差；

4）鏡(jìng)片光軸與工作台不垂直帶(dài)的誤差；

5）測(cè)量環境溫度變(biàn)化引起的誤差；

6) 光源照明條件變(biàn)化引起的對(duì)焦和對(duì)準誤差
。

在這些因素中，前四個誤差爲硬件誤差，在影像測量儀的制造過程中已經形成並(bìng)固定，一般無法改變(biàn)。以減少其影響。然後一項經常被忽略。在實際測量中，當光源的光照條件發生變(biàn)化時，直接影響到被測工件的光照效果和圖像質量。如果圖像測量儀的圖像是通過CCD接收的，雖然CCD具有自動調節增益的功能，但是當亮度過高時，就會失去調節功能，導緻工件的圖像縮小到被測量。當亮度過低時，工件的圖像會變(biàn)大。

這種影響，在測量重複圖案結構之間的間距時，隻要光照條件在整個測量過程中保持不變(biàn)，就可以忽略，因爲每個重複圖案結構同時變(biàn)大或變(biàn)小，間距的測量可以忽略.計算直接消除瞭(le)圖像變(biàn)形的影響，如測量玻璃尺、格闆間距；除此特殊情況外，如測量圓的直徑
、工件的長度和寬度，都會帶來明顯的誤差。