三坐标測量機的維護需要全方位的維護。作爲三坐标測量機的關鍵部件，光栅尺也是一個非常精密的部件。維護是否合理直接影響三坐标測量機的精度和光栅尺的壽命。三坐标測量機光栅尺的具體維護和清潔方法請參考業内人士的建議
。

1、光栅尺傳感器與數顯插座插拔時應關閉電源
。

2、盡可能加裝防護罩，及時清理飛濺在尺子上的切屑和油污，嚴防異物進入機殼内部。

3、定期檢查各連接螺釘是否松動。

4、爲延長防塵密封條的使用壽命
，可在密封條上均勻塗上一層薄薄的矽油，注意不要濺到玻璃光栅的劃線面上。

5、爲保證光栅傳感器的可靠性，光栅表面和指示光栅表面可以定期用乙醇混合物（各50%）清洗，以保持玻璃光栅表面清潔。

6、嚴禁劇烈振動、敲打光栅尺傳感器，以免損壞光栅尺，如光栅尺折斷
，光栅尺傳感器會失效。

7、不要自行拆卸光栅尺傳感器，也不要随意改變主光栅和副光栅的相對距離，否則一方面可能會損壞光栅尺傳感器的精度，而且在另一方面，可能會引起主光栅尺與副光栅尺之間的相對摩擦。鍍鉻層的損壞也會破壞網格線，從而導緻光栅尺報廢。

8、應注意防止光栅尺表面被油水污染
，以免損壞光栅尺的線條紋分布，造成測量誤差
。

9、光栅傳感器應盡量避免在腐蝕嚴重的環境中工作，以免腐蝕光栅的鉻層和光栅表面，損壞光栅質量。

清潔三坐标測量機光栅尺，可用脫脂棉球蘸無水酒精，将棉球從光栅的一端擦到另一端，然後更換棉球，再用一個幹淨的棉球。棉球不能重複使用。 ，注意不要來回擦拭。擦拭過程中不要觸碰讀數頭，也不要讓棉球的纖維粘在光栅上。讀數頭的靜電會吸引纖維，影響讀數。三坐标測量機的光栅尺不宜頻繁擦拭，每季度或半年擦拭一次即可。