1、圖像測量儀在平面（Exy）上的尺寸測量誤差：測量誤差表示将産品或樣品以任意方向放置在圖像測量平面上，測量二維尺寸的示值誤差。

2、圖像測(cè)量儀在Z軸上的尺寸測(cè)量誤差（Ez）：測(cè)量誤差表示在垂直於(yú)圖像測(cè)量平面的方向和單軸方向上測(cè)量的示值誤差。

3、影像測(cè)量儀測(cè)量頭尺寸測(cè)量誤差（Ev）：在不移動平台的情況下，圖像視場(chǎng)内任意尺寸平面的測(cè)量誤差。

4、影像測(cè)量儀測(cè)量的各截面測(cè)量結果的一緻性（Ec）：影像測(cè)量儀在光軸的不同截面上測(cè)量時，各截面坐标原點(diǎn)與XY的投影的一緻性平面可以理解爲圖像測(cè)量儀沿Z方向上下移動時，Z軸與XY水平面的垂直度也可以反映測(cè)量頭在不同高度的圖像測(cè)量特性的一緻性。

5、影像測(cè)量儀二維檢(jiǎn)測(cè)誤差（P2D）：使用影像測(cè)量儀測(cè)量标準圓的半徑。

6、影像測(cè)量儀探頭的檢測(cè)誤差（PV）：使用影像測(cè)量儀測(cè)量視場(chǎng)内标準圓的半徑。

7、影像測(cè)量儀的變(biàn)倍檢測(cè)誤差（Pz）：使用影像測(cè)量儀測(cè)量标準圓心坐标在不同倍率下的變(biàn)化範圍。